Trichlorsilanas

Trichlorsilanas (TCS, SiHCl₃, CAS 10025-78-2) yra bespalvis, labai lakus skystis, turintis aštrų, smaugiančią vandenilio chlorido kvapą. Verdanti 31,8 laipsnio temperatūroje ir smarkiai reaguojanti su drėgme, tai yra pagrindinė „Siemens“ proceso žaliava, gaminanti didelio{10}}grynumo polisilicį fotovoltiniams saulės elementams ir puslaidininkinėms plokštelėms. TCS taip pat plačiai naudojamas silicio epitaksinės plokštelės auginimui, organinio silicio sintezei (silikoninės alyvos, gumos, dervos, jungiamosios medžiagos), CVD silicio plonasluoksnio nusodinimo procese ir kaip selektyvus reduktorius organinėje sintezėje. Galima įsigyti pramoninės klasės (didesnė arba lygi 99,0%) ir elektroninės klasės (iki 9N grynumo). Klasifikuojamas kaip reaguojantis į vandenį ir labai degus (JT 1295, klasė 4.3+2.3, PG I), kurio sprogimo diapazonas yra ypač platus 1,2–90,5 %; tvarkyti tik griežtai bevandenėmis sąlygomis su apsauga nuo sauso azoto.